钼离子注入件

钼离子注入件又叫钼半导体离子注入配件

基本信息

宝鸡迈腾专攻半导体零件领域，尤其是钨、钼离子注入件的生产，产品主要用于瓦里安，亚舍利，应用材料等公司设备。我们已与国外厂商建立了长久的战略合作关系，积累了丰富经验。

特性

离子注入工艺原理

当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低，并最终停留在固体材料中，这一现象被称为离子注入。

应用

产品参数

化学成分

牌号	主要成分（质量分数）/%				杂质含量（质量分数）/%，不大于
牌号	Mo	Ti	Zr	C	Al	Ca	Fe	Mg	Ni	Si	C	N	P	O
Mo1	余量	—-	—-	—-	0.002	0.002	0.006	0.002	0.005	0.005	0.010	0.003	0.001	0.008
Mo2	余量	—-	—-	—-	0.005	0.004	0.015	0.005	0.005	0.005	0.020	0.003	0.001	0.020
TZM	余量	0.40-0.55	0.06-0.12	0.01-0.04	—–	—-	0.010	—-	0.005	0.005	—-	0.003	—-	0.080
Mo-La	余量	La:0.08-1.50			0.002	0.002	0.006	0.002	0.005	0.005	0.010	0.003	—-	—-
TZM钼合金中允许加入0.02%的硼（B）Mo-La钼合金中La为名义添加量

迈腾是专业的钼离子注入件厂家，作为钨/钼/钽离子注入件制造商，我们的产品远销海内外，如有需求，欢迎下单咨询。